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半导体晶圆搬运

SEMISRAR-MR124系列
  • SEMISRAR-MR124
    5轴水平多关节
    对应200/300/450mm Wafer
    可达范围:1215mm
    适用电控箱:SR100
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SEMISRAR-M系列
  • SEMISRAR-M124
    5轴水平多关节
    对应200/300/450mm Wafer
    可达范围:1165mm
    适用电控箱:NXC100
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  • SEMISRAR-M122
    5轴水平多关节
    对应200/300mm Wafer
    可达范围:737mm
    适用电控箱:NXC100
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  • SEMISRAR-M112
    4轴水平多关节
    对应200/300mm Wafer
    可达范围:737mm
    适用电控箱:NXC100 
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  • SEMISRAR-M201
    4轴水平双腕
    对应200/300/450mm Wafer
    可达范围:647mm
    适用电控箱:NXC100
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  • SEMISRAR-M101
    3轴水平单腕
    对应200/300mm Wafer
    可达范围:650mm
    适用电控箱:NXC100 
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应用事例